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plasma 等離子表面處理常見的三種用途

發布時間:2018/11/1 8:25:32 | 信息來源:
收藏本文章 | 復制本頁鏈接 | 打印本頁 | 瀏覽:6391 次 | 點此瀏覽更多 《技術交流》 | 【關閉窗口
金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層,在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會產生以下效果:
1.1灰化表面有機層
-表面會受到物理轟擊和化學處理
一、金屬表面去油污并清洗
    -在真空和瞬時高溫狀態下,污染物部分蒸發
-污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空泵抽出
-紫外輻射破壞污染物
因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。

1.2氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發生化學反應
    這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合氣體。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面,第二步用氫氣和氬氣的混合氣體去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。

1.3焊接
通常,印刷線路板(PCB)在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除,否則會帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的,也需要進行等離子清洗。

二、等離子刻蝕物的處理
在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會變成氣相(例如在使用氟氣對硅刻蝕時,下圖)。處理氣體和基體物質被真空泵抽出,表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(例如半導體行業用鉻做覆蓋材料)。
        等離子方法也用于刻蝕塑料表面,通過氧氣可以灰化填充混合物,同時得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預處理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積提高粘合強度。

三、刻蝕和灰化處理
聚四氟(PTFE)刻蝕
聚四氟(PTFE)在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知,使用活躍的鈉堿性金屬可以增強粘合能力,但是這種方法不容易掌握,同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環境,還能達到更好效果。
等離子結構可以使表面*大化,同時在表面形成一個活性層,這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。

聚四氟(PTFE)混合物的刻蝕
PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行,以免填充物被過度暴露,從而削弱粘合力。
處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣??梢詰糜赑E、PTFE、TPE、POM、ABS和PP等。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等等一樣是沒有極性的,因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。同時,玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清洗。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面,不會產生有毒煙氣,中空和帶縫隙的樣品也可以處理。
· 不需要用化學溶劑進行預處理
· 所有的塑料都能應用
· 具有環保意義
· 占用很小工作空間
· 成本低廉
        等離子表面處理的效果可以簡單地用滴水來驗證,處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時間的等離子處理(大于15分鐘),材料表面不但被活化還會被刻蝕,刻蝕表面具有極小的表面接觸角和*大潤濕能力。

五、等離子涂鍍聚合
在涂鍍中兩種氣體同時進入反應艙,氣體在等離子環境下會聚合。這種應用比活化和清洗的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成,應用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟(PTFE)材質的涂鍍、防水鍍層等。涂鍍層非常薄,通常為幾個微米,此時表面的疏水性非常好。常用的有3種情況
· 防水涂鍍—環己物
· 類似PTFE材質的涂鍍---含氟處理氣體
· 親水涂鍍---乙烯醋酸
       等離子表面處理的效果可以簡單地用滴水來驗證,處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時間的等離子處理(大于15分鐘),材料表面不但被活化還會被刻蝕,刻蝕表面具有極小的表面接觸角和*大潤濕能力。

六、等離子涂鍍聚合
在涂鍍中兩種氣體同時進入反應艙,氣體在等離子環境下會聚合。這種應用比活化和清洗的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成,應用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟(PTFE)材質的涂鍍、防水鍍層等。涂鍍層非常薄,通常為幾個微米,此時表面的疏水性非常好。常用的有3種情況
· 防水涂鍍—環己物
· 類似PTFE材質的涂鍍---含氟處理氣體
· 親水涂鍍---乙烯醋酸
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