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真空脫泡機蒸汽流擴散泵
蒸汽流分散泵在歷史上*早被用來取得高真空，現在仍廣泛運用。它是運用氣體分散現象來抽氣的。分散泵按泵內作業液體的品種來分，有汞泵和油泵兩種。因汞蒸汽有毒，除特殊場合外，現已防止運用。按結構資料來分，有玻璃和金屬泵兩種。玻璃分散泵都是小型的，制作簡單，成本低，但抽速較小，易決裂。金屬結構強度較高，適于制作大型泵。
單噴嘴油分散泵的結構如圖8.0-3所示。泵的底部為蒸發器，蒸發器內貯有高真空油液，經泵外的電爐加熱后，發生必定的油蒸汽，其壓強約為10－1Ｔｏｒｒ的數量級。蒸汽沿導管傳輸到上部，經由傘形噴嘴向下噴出。因為噴嘴外面的氣體壓強較低，約在10－2～10－3Torr，所以，油蒸汽流可向下噴出一長段間隔，構成一個向出氣口方向運動的射流。因為從蒸發器出來的蒸汽流中包括的氣體很少，也就是蒸汽流中氣體密度低而蒸汽流上方被抽容器的氣體分壓強總是較大的，氣體分子就不斷從蒸汽流上方空間分散到蒸汽流內。射流是超音速的，且密度較大，分子量較高，故運載氣體的才干很強。分散到超音速射流內的氣體分子與蒸汽分子磕碰后得到向下的動量，并被壓縮到較高的壓強區里，*后被前級泵排出。射流在往下運動過程中碰到有冷卻水冷卻的泵壁，油分子被冷凝下來，沿著泵壁流回蒸發器，持續循環運用。
近代分散泵內一般都有三個至四個噴嘴相串聯，這樣的泵也稱三或四級泵，見圖8.0-4。玻璃油分散泵的標稱泵速為每秒十幾升到每秒幾十升，金屬油分散泵的泵速可達每秒幾百升乃至每秒幾萬升。
油分散泵在下面出氣口壓強為10－2～10－3Ｔｏｒｒ時進氣口的極限真空可達10-6～10-7Ｔｏｒｒ。若對噴口結構加以改進，加低溫捕集阱阻截油蒸汽分子，或選用新型極低蒸汽壓分散泵油（如國產276硅油或聚苯醚油），則油分散泵的極限真空可達10-9Torr，能滿意清潔的超高真空體系的要求。
油分散泵需在氣體處于分子流狀況的壓強（小于10-2Ｔｏｒｒ）下才干正常排氣。真空室和前級氣壓太高時氣體分子相互頻頻磕碰，處于無序的運動狀況，不只很難構成與高速射流噴發方向共同的定向運動，而且會發生嚴峻的反分散，使之喪失抽速；一起氣壓太高時，會使泵油分子氧化分化，蒸汽壓增高，然后失掉效能，故分散泵既要求體系有必定的準備真空，又要有必定的前級真空。通常用機械泵作為前級泵配合運用。本實驗即選用這種分散泵機械泵典型的串聯體系來取得高真空。
油分散泵的極限真空度與作業油液汽流的噴發速度有關。一般地，噴發速度越大取得的極限真空越高；別的油分散泵的極限真空度還遭到作業油液飽滿蒸汽壓和氣體分子的反分散的約束。對作業油液的要求是：熱穩定性好，揮發物質少，飽滿蒸汽壓低，不易氧化，不易裂解。
